半導體製程中的精密陶瓷零件應用與特性

半導體製程中的精密陶瓷零件應用與特性

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半導體陶瓷零件是以精密陶瓷材料（如氧化鋁 Al₂O₃、氮化矽 Si₃N₄、碳化矽 SiC、氧化鋯 ZrO₂等）製作而成的功能性零件。這些材料具備高硬度、耐磨損、耐高溫、耐腐蝕以及優良絕緣性的特點，因此廣泛應用於半導體製程的各個環節。

透過專業加工，半導體陶瓷零件能在嚴苛環境中保持穩定與精準，成為高科技產業中不可或缺的重要材料。常見的陶瓷零件包括：

• 陶瓷噴嘴（Ceramic Nozzle）
• 陶瓷螺栓 / 絕緣件（Ceramic Bolt / Insulator）
• 陶瓷手臂
• 氧化鋁陶瓷環
• 氧化鋁陶瓷牙叉
• 氧化鋁陶瓷螺絲
• 離子植入（Implanter）陶瓷零件

晟鼎工業提供一條龍的生產製造與品質檢驗服務，能根據客戶提供的圖面及樣品，進行客製化設計與小批量出貨，滿足多元產業的需求。

陶瓷一般零件

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陶瓷頂PIN

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陶瓷噴嘴

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